Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники. Учебник
Автор:Ивашов Е. Н., Лучников П. А., Сигов А. С., Степанчиков С. В. Год: 2016 Издание:Юрайт Страниц: 370 ISBN: 9785991664141 В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован...
