Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Автор:Сигов А.С. Год: 2016 Издание:Юрайт Страниц: [не указано] ISBN: 9785991664141, 9785534031966 В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники – вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным...
