Технология и конструирование интегральных микросхем
Автор:Березин А. С., Мочалкина О. Р. Год: 1983 Издание:Радио и связь Страниц: 228 ISBN: [не указан] Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы пленарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС. Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе.
