Автоматика. Радиоэлектроника. Связь

Список источников >Учебная литература >Студентам и аспирантам >Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство >Автоматика. Радиоэлектроника. Связь >

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования

Автор: Королев М. А., Крупкина Т. Ю., Путря М. Г., Шевяков В. И.
Год: 2009
Издание: Бином. Лаборатория знаний
Страниц: 424
ISBN: 9785947745856, 9785947745832
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области
Добавлено: 2017-05-26 14:14:55

Видео о книгах:

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы