Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Автор:Пресс Ф. П. Год: 1978 Издание:Советское радио Страниц: 96 ISBN: [не указан] Рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, применяемое современное оборудование. Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать современные возможности и перспективы развития фотолитографии.
