Автоматика. Радиоэлектроника. Связь

Список источников >Учебная литература >Студентам и аспирантам >Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство >Автоматика. Радиоэлектроника. Связь >

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Автор: Королев М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А.
Год: 2007
Издание: Бином. Лаборатория знаний
Страниц: 400
ISBN: 9785947743364, 9785947743371
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Добавлено: 2013-06-17 18:12:11

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы