Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2
Автор:Королев М.А. Год: 2012 Издание:Бином. Лаборатория знаний Страниц: [не указано] ISBN: 9785947745856 Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний;...
