Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Автор:Королев М. А. Год: 2012 Издание:Лаборатория знаний Страниц: [не указано] ISBN: 9785996329045 Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
