Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Автор:Патрушева Т. Н. Год: 2014 Издание:Инфра-М, Сибирский федеральный университет СФУ Страниц: 272 ISBN: 9785160063768, 9785161003527, 9785763824919 В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
