Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие. Гриф УМО вузов России
Автор:Гаврилов Сергей Александрович Год: 2017 Издание:РИОР Страниц: [не указано] ISBN: 9785369012994 Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории...