Радиацоинно-термическая обработка МОП-приборов и интегральных схем
Автор:Виктор Попов und Григорий Протопопов Год: 2013 Издание:Palmarium Academic Publishing Страниц: 116 ISBN: 9783659983337 В книге рассмотрены особенности планарных МОП-структур на основе кремния и физические особенности строения пленки оксида кремния на кремнии. Отмечается роль механических напряжений в структуре "оксид кремния-кремний". Приводятся результаты исследования эффекта радиационно-термической обработки (РТО). Предлагается применение РТО для выявления аномальных структур и для диагностики технологического процесса изготовления изделий с МОП-структурой.
