Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем
Автор:Качурина, Е.Е.; Мякиненков, В.И.; Щеглова, В.В. Год: 1982 Издание:
ЦНИИ Электроника Страниц: 80 ISBN: [не указан] В обзоре обобщены сведения о перспективах использования пленок силицидов тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и ИС, о методах их получения и свойствах. Рассмотрены свойства пленок силицидов тугоплавких металлов, поведение силицидов при термическом окислении, изучены механизмы окисления и свойства полученных окислов.