В обзоре обобщены сведения о перспективах использования пленок силицидов тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и ИС, о методах их получения и свойствах. Рассмотрены свойства пленок силицидов тугоплавких металлов, поведение силицидов при термическом окислении, изучены механизмы окисления и свойства полученных окислов.
