Автор:Моро, У. Год: 1990 Издание:Мир Страниц: 1240 ISBN: 5030013725
Книга крупного американского специалиста представляет собой по сути энциклопедию, посвященную микролитографии и материалам для полупроводниковых технологий, т. е. основам технологии изготовления интегральных микросхем.В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой и фотолитографии.Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
