Автор:Ильин А.А. Год: 2018 Издание:Альфа-М, Инфра-М Страниц: [не указано] ISBN: 9785982813664, 9785160091884 Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем обьс-ме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств...
