Управление ростом кристаллов как стохастическим процессом
Автор:Косушкин Виктор Год: 2014 Издание:Palmarium Academic Publishing Страниц: 272 ISBN: 9783847391845 Рассмотрены особенности роста кристаллов полупроводников при автоматическом управлении и искусственных воздействиях на процесс выращивания по методу Чохральского. В результате анализа современных методов математического и физического моделирования процессов роста кристаллов определены особенности использования различных моделей процессов. Определены закономерности формирования дефектов структуры монокристаллов и распределения примесей в связи с управляющими воздействиями, рассмотрены методы и алгоритмы снижения полосчатой неоднородности кристаллов полупроводниковых соединений АIIIВV за счет использования специальных «низкоэнергетических воздействий», включающих направленное изменение параметров управления процессом с использованием информации обратной связи по колебаниям температуры в расплаве.
