Электроника. Радиоэлектроника

Список источников > Книги > Научная и научно-популярная литература > Прикладные науки. Техника > Автоматика. Радиоэлектроника. Связь > Электроника. Радиоэлектроника

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Автор: Киреев В.Ю.
Год: 2016
Издание: [издательство не указано]
Страниц: [не указано]
ISBN: 9785915592154
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового...
Добавлено: 2018-02-05 18:16:26