Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование
Автор:Киреев В.Ю. Год: 2016 Издание: Страниц: [не указано] ISBN: 9785915592154 В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового...
