|
|
Автор: Jesse Russell
Год: 2013
Издание:
Книга по Требованию
Страниц: 103
ISBN: 9785508784935
High Quality Content by WIKIPEDIA articles! Multiple patterning is a class of technologies for manufacturing integrated circuits (ICs), developed for photolithography to enhance the feature density. The simplest case of multiple patterning is double patterning, where a conventional lithography process is enhanced to produce double the expected number of features. The resolution of a photoresist pattern begins to blur at around 45 nm half-pitch. For the semiconductor industry, therefore, double patterning was introduced for the 32 nm half-pitch node and below, mainly using state-of-the-art 193 nm immersion lithography tools. Данное издание представляет собой компиляцию сведений, находящихся в свободном доступе в среде Интернет в целом, и в информационном сетевом ресурсе "Википедия" в частности. Собранная по частотным запросам указанной тематики, данная компиляция построена по принципу подбора близких информационных ссылок, не имеет самостоятельного сюжета, не содержит никаких...
|
|
Jesse RussellJesse Russell
Jesse RussellMultiple patterning
Jesse RussellRichard B. Russell Multiple Resource Area