Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Автор:Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. Год: 1991 Издание:Политехника Страниц: 288 ISBN: 5732500014 В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применен аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчета как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объема. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. Может быть использована инженерно-техническими работниками, специализирующимися в...
