Автор:Ситанов Год: 2009 Издание: [не указанo] Страниц: 85 ISBN: [не указан] Лабораторный практикум содержит описание и порядок выполнения пяти базовых лабораторных работ по курму Методы исследований материалов и структур, входит в комплект базовых учебных пособий по данному курсу, читаемому студентам специальности 210100 Микроэлектроника и твердотельная электроника и посвящен изучению методов исследования электрофизических параметров, структуры, состава материалов и структур микроэлектроники. Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание и перечень вопросов для самоподготовки.
