Металлургия и технология полупроводниковых материалов
Автор: [автор не указан] Год: 1972 Издание:Металлургия Страниц: 544 ISBN: [не указан] Рассматриваются свойства полупроводниковых материалов, а также физико-химические особенности процессов получения полупроводниковых материалов в высокочистом, прецизионно легированном и монокристаллическом виде. Систематизировано описана технология германия, кремния и основных полупроводниковых соединений. Рассмотрены также специальные виды обработки и вопросы контроля качества полупроводниковых материалов. Предназначена в качестве учебного пособия для студентов металлургических и химико-технологических вузов, может быть полезна для исследовательских и заводских работников, занятых разработкой методов получения полупроводниковых материалов.
