Автор:Громов Д.Г. Год: 2014 Издание:Бином. Лаборатория знаний Страниц: [не указано] ISBN: 9785947749045 Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой...
