Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления
Автор:Кузьмичев А. Год: 2008 Издание:Аверс Страниц: 246 ISBN: 9668934075 Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения.
