Автор:Игорь Евгеньевич Лысенко Год: 2013 Издание:LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 92 ISBN: 9783659407420 Рассмотрены принципы построения микромеханических зеркал и устройств обработки сигналов емкостных преобразователей перемещений. Представлены разработанные методы построения микромеханических зеркал с крестообразным и интегрированным внутренними подвесами, уравнения движения зеркальных элементов и модели для расчета жесткостей упругих подвесов предложенных устройств. Предложен метод проектирования микромеханических зеркал.
