Физические основы микроэлектроники. Гриф УМО МО РФ
Автор:Марголин В.И. Год: 2008 Издание:Академия (Academia) Страниц: [не указано] ISBN: 9785769542275 Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос...
