Теплопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления
Тонкопленочные элементы в микроэлектронике. Основы проектирования и изготовления
Устройства СВЧ- и КВЧ- диапазонов. Методы расчета. Алгоритмы. Технологии изготовления