Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2
Автор:Акуленок М.В. Год: 2011 Издание:Бином. Лаборатория знаний Страниц: [не указано] ISBN: 9785996303366 Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные...
