Автоматика. Радиоэлектроника. Связь

Список источников >Учебная литература >Студентам и аспирантам >Технические науки. Медицина. Сельское хозяйство >Автоматика. Радиоэлектроника. Связь >

Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Автор: Чистяков Ю. Д., Райнова Ю. П.
Год: 2010
Издание: Бином. Лаборатория знаний
Страниц: 392
ISBN: 9785996303359, 9785996303410
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических...
Добавлено: 2014-01-30 04:27:23

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2017, Список Литературы