В работе изложены вопросы применения вакуумно-термического оборудования, которое широко используется при изготовлении практически всех изделий электронной техники, начиная с осветительных ламп накаливания и кончая самыми современными интегральными схемами; приведены основные сведения по взаимодействию газов с твердыми телами, описано перспективное оборудование дли термической очистки и обезгаживакия материалов, для откачки и обезгаживания электровакуумных приборов, а также рассмотрены вопросы контроля рабочих сред, качества очистки и обезгаживання материалов, контроля процессов откачки. Табл.4, илл.24, библ.11 назв.Тираж 1 500 экз.
