Техника

Список источников >Техника >

Handbook of plasma processing technology. Fundamentals, etching, deposition, and surface interaction

Автор: Rossnagel S.M., Cuomo J.J., Westwood W.D.
Год: 1990
Издание:

Страниц: [не указано]
ISBN: [не указан]
This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.
Добавлено: 2009-08-09 01:26:37

Околостуденческое

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2024, Список Литературы