Проблемы физической химии поверхности полупроводников
Автор: [автор не указан] Год: 1978 Издание:Наука. Сибирское отделение Страниц: 288 ISBN: [не указан] Книга посвящена анализу актуальных проблем физической химии поверхности полупроводников, включающих теорию поверхностных состояний, механизмы адсорбции и химических реакций растворения, окисления, фотоэлектро-химнческого травления. Рассматриваются механизм образования диэлектрических слоев Si0 2 при осаждении из газовой фазы, закономерности образования и природа электронных состояний в системах германий — и кремний — диэлектрик. Книга рассчитана на исследователей, работающих в области физики поверхности полупроводников, химии твердого тела, технологов, занимающихся разработкой полупроводниковых приборов, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
