Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие
Автор:Щагин А. В., Демкин В. И., Кононов В.Ю., Кабанова А. Б. Год: 2016 Издание:Юрайт Страниц: 164 ISBN: 9785991676700 Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов образовательных учреждений среднего профессионального образования, может быть полезно также научным работникам и инженерам.
