Связь, электроника

Список источников >Техника и технология >Связь, электроника >

Технология СБИС

Автор: ред. Зи, С.
Год: 1986
Издание: Мир
Страниц: 453
ISBN: [не указан]
В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирования и надежность ИС.
Добавлено: 2009-11-18 20:44:39

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы