Связь, электроника

Список источников >Техника и технология >Связь, электроника >

Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем

Автор: Качурина, Е.Е.; Мякиненков, В.И.; Щеглова, В.В.
Год: 1982
Издание: ЦНИИ Электроника
Страниц: 80
ISBN: [не указан]
В обзоре обобщены сведения о перспективах использования пленок силицидов тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и ИС, о методах их получения и свойствах. Рассмотрены свойства пленок силицидов тугоплавких металлов, поведение силицидов при термическом окислении, изучены механизмы окисления и свойства полученных окислов.
Добавлено: 2009-11-18 20:44:38

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2017, Список Литературы