Элементная база, транзисторы

Список источников >Компьютеры >Элементная база, транзисторы >

МОП-БИС. Моделирование элементов и технологических процессов

Автор: Антонетти, П.; Антониадис, Д.; Даттон, Р. и др.
Год: 1988
Издание: Радио и связь
Страниц: 496
ISBN: 5256001302
Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов — МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП-транзисторов. Подробно обсуждены области применимости этих моделей для анализа работы приборов в различных режимах. Приведены основные алгоритмы, используемые при моделировании технологических процессов и приборов на основе МОП-структур. Показано, как эти алгоритмы реализуются в существующих программах одно- и двумерного математического моделирования, и описаны структуры программ. Продемонстрировано, каким образом происходит стыковка программ моделирования технологических процессов и программ расчета характеристик приборов. Большое внимание уделено обсуждению специфических двумерных эффектов, приобретающих все большее значение в связи с уменьшением характерных размеров элементов ИС. При этом речь идет как об особенностях физических моделей, которые важны для учета двумерных эффектов, так и об особенностях их численного анализа.Книга адресована прежде всего специалистам в области математического моделирования в микроэлектронике. Кроме того, она будет полезна разработчикам кремниевых ИС, специалистам по технологии их производства, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей.Табл. 32. Ил. 299. Библиогр. 737 назв.
Добавлено: 2009-11-18 20:31:00

Видео о книгах:


Похожие книги

Источник: Рыбин Ю. И., Рудской А. И., Золотов А. М., Математическое моделирование и проектирование технологических процессов обработки металлов давлением Рыбин Ю. И., Рудской А. И., Золотов А. М.Математическое моделирование и проектирование технологических процессов обработки металлов давлением Источник: Королев М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А., Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование Королев М. А., Крупкина Т. Ю., Ревелева М. А.Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование Источник: Кузьмин В. В., Схиртладзе А. Г., Математическое моделирование технологических процессов сборки и механической обработки изделий машиностроения Кузьмин В. В., Схиртладзе А. Г.Математическое моделирование технологических процессов сборки и механической обработки изделий машиностроения

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы