Технологии и инженерия

Список источников >Наука и образование >Технологии и инженерия >

Микролитография. Принципы, методы материалы

Автор: Моро, У.
Год: 1990
Издание: Мир
Страниц: 1240
ISBN: 5030013725
Книга крупного американского специалиста представляет собой по сути энциклопедию, посвященную микролитографии и материалам для полупроводниковых технологий, т. е. основам технологии изготовления интегральных микросхем.В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой и фотолитографии.Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
Добавлено: 2009-11-18 20:32:59

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы