Технология производств

Список источников >Техника и технология >Технология производств >

Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем

Автор: Голото, И.Д.; Докучаев, Б.П.; Колмогоров, Г.Д.
Год: 1975
Издание: Энергия
Страниц: 208
ISBN: [не указан]
В книге рассматривается комплекс вопросов, связанных с влиянием различных загрязнений на качество кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем при производстве их по эпитаксиально-планарной технологии. Изложены требования к условиям производства и технологическим средам. Подробно описаны способы обеспечения и контроля чистоты технологических сред и поверхностей изделий при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Добавлено: 2009-11-18 20:45:15

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2017, Список Литературы