Технологии и инженерия

Список источников >Наука и образование >Технологии и инженерия >

Аппаратура для диффузии и эпитаксии

Автор: Гришин, В.М.; Каминский, В.В.; Кумарев, Ф.А. и др.
Год: 1975
Издание: ЦНИИ Электроника
Страниц: 44
ISBN: [не указан]
Обзор состоит из двух глав. В первой приведен анализ дозаторов, используемых в технологии микроэлектроники при получении парогазовых смесей для диффузии и эпитаксии. Обсуждаются преимущества и недостатки дозаторов. Во второй глава рассмотрены особенности применения резистивного нагрева при получении эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов. Сопоставляются различные системы организации газовых потоков в реакционных камерах и конструктивное оформление нагревателей-подложкодержателе й.
Добавлено: 2009-11-18 20:32:59

Это интересно...

Наши контакты

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2016, Список Литературы