Технология тонких пленок. Справочник. В 2 томах (комплект)
Автор: [автор не указан] Год: 1977 Издание:Советское радио Страниц: 1432 ISBN: [не указан] Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2 - гл. 8—21. В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры,...
