Автор:Пичугин И. Г., Таиров Ю. М. Год: 1984 Издание:Высшая школа Страниц: 288 ISBN: [не указан] В книге дан анализ технологических процессов производства полупроводниковых приборов; рассмотрены вопросы создания омических контактов, защиты и стабилизации поверхности, особенности технологии конкретных типов и групп полупроводниковых приборов, их конструкции; изложены методы контроля технологических процессов и связь их параметров с выходными характеристиками приборов.