Автор:Иванов-Есипович Н. К. Год: 1972 Издание:Высшая школа Страниц: 256 ISBN: [не указан] В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермической технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионно-плазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем. Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.