Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1
Автор:Раскин А. А., Прокофьева В. К. Год: 2010 Издание:Бином. Лаборатория знаний Страниц: 168 ISBN: 9785947749090 В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
