Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор:Киреев В.Ю. Год: 2006 Издание:Техносфера Страниц: [не указано] ISBN: 5948360393 Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов...
