Процессы и установки электронно-ионной технологии. Учебное пособие
Автор:Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Год: 1988 Издание: Страниц: 256 ISBN: 5060014800 Книга состоит из трех разделов, посвященных электронной технологии, ионной технологии, применению молекулярных потоков. По каждому методу даются сведения о его физических основах, особенностях технологических процессов, приводятся описания типичного оборудования.
