Технические науки в целом

Список источников >Нехудожественная литература >Научная и техническая литература >Техника. Технические науки >Технические науки в целом >

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Автор: Берлин Е. В., Сейдман Л. А.
Год: 2014
Издание: Техносфера
Страниц: 260
ISBN: 9785948363691
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых...
Добавлено: 2017-05-26 12:32:29

Околостуденческое

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2024, Список Литературы