Электросвязь, электроакустика, радиосвязь

Список источников >Нехудожественная литература >Научная и техническая литература >Техника. Технические науки >Радиоэлектроника, радиотехника, связь >Электросвязь, электроакустика, радиосвязь >

МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов

Автор: [автор не указан]
Год: 1988
Издание: Радио и связь

Страниц: 496
ISBN: 5256001302, 902472824X
Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем (ИС) и электрических характеристик их основных элементов - МОП-транзисторов. Рассмотрены модели диффузии, ионной имплантации, окисления, отжига, литографии, осаждения, травления и модели, описывающие функционирование МОП-транзисторов. Подробно обсуждены области применимости этих моделей для анализа работы приборов в различных режимах. Приведены основные алгоритмы, используемые при моделировании технологических процессов и приборов на основе МОП-структур. Показано, как эти алгоритмы реализуются в существующих программах одно- и двумерного математического моделирования, и описаны структуры программ. Продемонстрировано, каким образом происходит стыковка программ моделирования технологических процессов и программ расчета характеристик приборов. Большое внимание уделено...

Добавлено: 2017-05-26 12:19:39