Машиностроение. Энциклопедия в 40 томах. Раздел 3. Технология производства машин. Том 3-8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении
Автор: [автор не указан] Год: 2000 Издание:Машиностроение Страниц: 744 ISBN: 5217019492, 5217028254 Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.