Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Автор:Духопельников Дмитрий Год: 2014 Издание: Страниц: [не указано] ISBN: 9785703837986 Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
