Физико-химические основы технологии электронных средств
Автор:Томилин В. И. Год: 2010 Издание:Academia Страниц: 416 ISBN: 9785769547126 Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Для студентов высших учебных заведений.
