Автор:Корзо В. Ф., Черняев В. Н. Год: 1977 Издание:Энергия Страниц: 368 ISBN: [не указан] В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и элементах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные технологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Определены наиболее характерные особенности практического использования пленок некристаллических диэлектриков в различных типах современных электронных устройств. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях.