Микроэлектроника, интегральные схемы

Список источников >Нехудожественная литература >Научная и техническая литература >Техника. Технические науки >Радиоэлектроника, радиотехника, связь >Микроэлектроника, интегральные схемы >

Диэлектрические пленки в микроэлектронике

Автор: Корзо В. Ф., Черняев В. Н.
Год: 1977
Издание: Энергия
Страниц: 368
ISBN: [не указан]
В книге анализируются наиболее характерные свойства пленочных диэлектриков, используемых в современных полевых приборах и эле­ментах функциональной микроэлектроники. Рассмотрены основные тех­нологические методы получения тонких диэлектриков с заданными свойствами и влияние технологических параметров на их физические и эксплуатационные характеристики. Определены наиболее характерные особенности практического ис­пользования пленок некристаллических диэлектриков в различных ти­пах современных электронных устройств. Книга рассчитана на инженерно-технических работников, специализирующихся в области разработки и применения диэлектрических материалов в пленочной электронике и смежных областях.
Добавлено: 2017-05-26 12:31:48

Околостуденческое

Рейтинг@Mail.ru

© 2009-2024, Список Литературы