Автор:Максим Занавескин, Алла Толстихина und Виктор Асадчиков Год: 2011 Издание:LAP Lambert Academic Publishing Страниц: 136 ISBN: 9783844358148 Высококачественная полировка и последующее нанотекстурирование являются необходимыми этапами при подготовке подложек для создания на их основе целого ряда устройств, таких как силовые СВЧ транзисторы, сверхъяркие светодиоды на основе эпитаксиальных гетероструктур; лазерные гироскопы, ультрафиолетовые литографы и системы управления рентгеновскими пучками на основе многослойных интерференционных зеркальных покрытий. Предлагаемая Вашему вниманию книга будет интересна исследователям, занятым проблемами создания, исследования и сертификации таких подложек. В книге описаны особенности методологии исследования сверхгладких поверхностей методом атомно-силовой микроскопии, который приобретает все большее распространение благодаря высокому пространственному разрешению и ценовой доступности. Особое внимание уделяется диэлектрическим подложкам: влиянию на АСМ- изображения статического заряда поверхности и способу его устранения. Описаны методы...
